我國在粒子計數的測量水平提高

    近日從中國計量科學院（以下簡稱中國計量院），該院建立的潔凈空氣中顆粒計數計量校準裝置提高了我國在粒子計數的測量水平，解決了此領域依賴儀器的現狀，提高了我國粒子計器的生產能力和競爭力。

　　項目負責人、中國計量院化學所程惠玲介紹，空氣中顆粒物污染是許多行業(yè)生產及加工工藝中主要的污染來源，評價空氣潔凈度已經成為許多行業(yè)生產和產品檢測的要求。如在電子行業(yè)及芯片制造工業(yè)中，氣體中微小顆粒物的沉積就會造成電氣特性甚至更大的破壞。特別是近年來芯片線寬已經達到微米和亞微米級，這就對廠房內的空氣潔凈度提出了更高的要求。另外，在現代醫(yī)學與藥物及生物工程中，包括我國在內的世界各國制定實施的“藥品生產質量管理規(guī)范GMP”中也著重對藥品生產過程中空氣中的顆粒物潔凈度提出了要求。特別是隨著《國家中科學和技術發(fā)展規(guī)劃綱要》的貫徹執(zhí)行，作為16個重大發(fā)展專項的核心電子器件、通用芯片、重大新藥創(chuàng)制將會得到快速發(fā)展，這就使得顆粒計數測量和監(jiān)測變得更加迫切。

　　塵埃粒子計數器就是用于測量潔凈環(huán)境中單位體積內塵埃粒子數和粒徑分布的儀器。它可廣泛應用于為藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質量監(jiān)督所等機構，以及生物、制藥、半導體、光學或精密機械加工等生產企業(yè)。

　　“據估計，我國現有的塵埃粒子計數器生產有10余家，使用的臺件數量應不少于3萬臺，這些及用戶具有很強烈的校準檢測需求。”程惠玲說，要保證空氣中塵埃顆粒測量的性，先需要確保塵埃粒子計數器本身的和可溯源。中國計量院完成的這項，建立了標準粒子計數器校準裝置，實現了對標準粒子計數器的粒子計數示值誤差、粒徑檔設定相對誤差、粒徑測量分辨力校準項目的檢定和校準，不確定度為6.0%（k=2），優(yōu)于相同計量校準裝置的技術水平。同時，他們還建立了工作級粒子計數器校準裝置，實現對工作級（實驗室用、便攜式）粒子計數器粒子計數示值誤差的有效校準。

　　“在中，我們通過采用的‘激光粒子計數器——凝結核粒子計數器——氣溶膠靜電計（或掃描電子顯微鏡）’逐級溯源法，使標準粒子計數器的粒子計數值溯源至國家電流標準和傳統(tǒng)的顯微計數法，保證了粒子計數的溯源性和性。”程惠玲認為這是該項目的一大創(chuàng)新點。

　　程惠玲介紹，通過該項目的實施，建立了我國塵埃粒子計數器的計量校準裝置和溯源方法。建立的校準裝置*我國塵埃粒子計數器實物計量標準的空白，為我國塵埃粒子計數器的量值溯源和傳遞了堅實的基礎和保障，有力推進了我國《塵埃粒子計數器》國家校準規(guī)范及《塵埃粒子計數器性能試驗方法》的有效實施。