我國(guó)在粒子計(jì)數(shù)的測(cè)量水平提高

    近日從中國(guó)計(jì)量科學(xué)院（以下簡(jiǎn)稱中國(guó)計(jì)量院），該院建立的潔凈空氣中顆粒計(jì)數(shù)計(jì)量校準(zhǔn)裝置提高了我國(guó)在粒子計(jì)數(shù)的測(cè)量水平，解決了此領(lǐng)域依賴儀器的現(xiàn)狀，提高了我國(guó)粒子計(jì)器的生產(chǎn)能力和競(jìng)爭(zhēng)力。

　　項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、中國(guó)計(jì)量院化學(xué)所程惠玲介紹，空氣中顆粒物污染是許多行業(yè)生產(chǎn)及加工工藝中主要的污染來(lái)源，評(píng)價(jià)空氣潔凈度已經(jīng)成為許多行業(yè)生產(chǎn)和產(chǎn)品檢測(cè)的要求。如在電子行業(yè)及芯片制造工業(yè)中，氣體中微小顆粒物的沉積就會(huì)造成電氣特性甚至更大的破壞。特別是近年來(lái)芯片線寬已經(jīng)達(dá)到微米和亞微米級(jí)，這就對(duì)廠房?jī)?nèi)的空氣潔凈度提出了更高的要求。另外，在現(xiàn)代醫(yī)學(xué)與藥物及生物工程中，包括我國(guó)在內(nèi)的世界各國(guó)制定實(shí)施的“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范GMP”中也著重對(duì)藥品生產(chǎn)過(guò)程中空氣中的顆粒物潔凈度提出了要求。特別是隨著《國(guó)家中科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要》的貫徹執(zhí)行，作為16個(gè)重大發(fā)展專項(xiàng)的核心電子器件、通用芯片、重大新藥創(chuàng)制將會(huì)得到快速發(fā)展，這就使得顆粒計(jì)數(shù)測(cè)量和監(jiān)測(cè)變得更加迫切。

　　塵埃粒子計(jì)數(shù)器就是用于測(cè)量潔凈環(huán)境中單位體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器。它可廣泛應(yīng)用于為藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質(zhì)量監(jiān)督所等機(jī)構(gòu)，以及生物、制藥、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機(jī)械加工等生產(chǎn)企業(yè)。

　　“據(jù)估計(jì)，我國(guó)現(xiàn)有的塵埃粒子計(jì)數(shù)器生產(chǎn)有10余家，使用的臺(tái)件數(shù)量應(yīng)不少于3萬(wàn)臺(tái)，這些及用戶具有很強(qiáng)烈的校準(zhǔn)檢測(cè)需求。”程惠玲說(shuō)，要保證空氣中塵埃顆粒測(cè)量的性，先需要確保塵埃粒子計(jì)數(shù)器本身的和可溯源。中國(guó)計(jì)量院完成的這項(xiàng)，建立了標(biāo)準(zhǔn)粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)裝置，實(shí)現(xiàn)了對(duì)標(biāo)準(zhǔn)粒子計(jì)數(shù)器的粒子計(jì)數(shù)示值誤差、粒徑檔設(shè)定相對(duì)誤差、粒徑測(cè)量分辨力校準(zhǔn)項(xiàng)目的檢定和校準(zhǔn)，不確定度為6.0%（k=2），優(yōu)于相同計(jì)量校準(zhǔn)裝置的技術(shù)水平。同時(shí)，他們還建立了工作級(jí)粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)裝置，實(shí)現(xiàn)對(duì)工作級(jí)（實(shí)驗(yàn)室用、便攜式）粒子計(jì)數(shù)器粒子計(jì)數(shù)示值誤差的有效校準(zhǔn)。

　　“在中，我們通過(guò)采用的‘激光粒子計(jì)數(shù)器——凝結(jié)核粒子計(jì)數(shù)器——氣溶膠靜電計(jì)（或掃描電子顯微鏡）’逐級(jí)溯源法，使標(biāo)準(zhǔn)粒子計(jì)數(shù)器的粒子計(jì)數(shù)值溯源至國(guó)家電流標(biāo)準(zhǔn)和傳統(tǒng)的顯微計(jì)數(shù)法，保證了粒子計(jì)數(shù)的溯源性和性。”程惠玲認(rèn)為這是該項(xiàng)目的一大創(chuàng)新點(diǎn)。

　　程惠玲介紹，通過(guò)該項(xiàng)目的實(shí)施，建立了我國(guó)塵埃粒子計(jì)數(shù)器的計(jì)量校準(zhǔn)裝置和溯源方法。建立的校準(zhǔn)裝置*我國(guó)塵埃粒子計(jì)數(shù)器實(shí)物計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的空白，為我國(guó)塵埃粒子計(jì)數(shù)器的量值溯源和傳遞了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)和保障，有力推進(jìn)了我國(guó)《塵埃粒子計(jì)數(shù)器》國(guó)家校準(zhǔn)規(guī)范及《塵埃粒子計(jì)數(shù)器性能試驗(yàn)方法》的有效實(shí)施。